عرضه دستگاهی برای تولید حسگر ایربگ خودروها
ايسنا/ محققان يکي از شرکتهاي مستقر در پارک علم و فناوري دانشگاه تهران علاوه بر ساخت دستگاهي براي توليد سنسورهاي ايربگ خودرو، تجهيزاتي براي ساخت ادوات نيمه هادي را به بازار کشور معرفي کردند. رضا عسگري مقدم، مجري اين طرح ليتوگرافي و ميکرو الکترومکانيک را از زمينههاي توليدي اين شرکت دانش بنيان نام برد و گفت: ادوات ميکرو الکترومکانيک کاربردهاي قابل توجهي در صنايع مختلف دارد به گونهاي که در اين شرکت تجهيزات و دستگاههايي ساخته ميشود که به وسيله آن امکان ساخت انواع سنسور خودرو از جمله سنسور ايربگ براي توليد کننده نهايي فراهم ميشود. وي توليددستگاه ليتوگرافي روميزي را از دستاوردهاي اين شرکت دانست و اظهار کرد: اين دستگاه قابليت ليتوگرافي ماسک با ابعاد متفاوت، کپي کردن طرح يا الگوي موجود در ماسک با دقت بسيار بالا را دارد و دستگاه قابليت ليتوگرافي ماسک با ابعاد متفاوت از ۰.۵ تا ۴ اينچ را دارد. علاوه بر آن در اين دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) براي نوردهي استفاده شده است. دستگاه تطبيق ماسک دو طرفه از ديگر دستاوردهاي اين شرکت است. از اين دستگاه براي ليتوگرافي و به ويژه در کاربردهاي خاصي که نياز است الگوي مورد نظر را با لايههاي قبلي تطبيق داد، استفاده ميشود. در ساخت اغلب ادوات نيمه هادي چندين لايه روي هم الگودهي ميشوند و در نتيجه چندين مرحله ليتوگرافي بايد انجام شود که الگودهي هر مرحله بايد منطبق با الگوي پيشين باشد که دستگاه تطبيق ماسک در اين زمينه دقت بالايي دارد. علاوه بر آن براي ساخت ادوات MEMS لازم است زير نمونه نيز ديده شود و تطبيق دوطرفه مورد نياز است که اين دستگاه از يک سيستم مکانيکي براي جابجايي نمونه با دقت ميکرومتري و يک ميکروسکوپ نوري براي مشاهده الگوي نمونه و ماسک بهره ميبرد. اين دستگاه قابليت تطبيق ماسکهاي اپتيکي از دو طرف را دارا است که براي ساخت ادوات MEMS ضروري است. دقت اين دستگاه ۲ ميکرون اعلام شده است. دستاوردهاي اين شرکت قرار است در هفتمين دوره نمايشگاه تجهيزات و مواد آزمايشگاهي ايران ساخت که از ۲۶ تا ۲۹ آذرماه در نمايشگاه بينالمللي تهران برگزار ميشود، نمايش داده شود.